【简介】为了有效保障我国科学技术事业的发展，为 科技重大专项提供学科情报服务支撑， 科学图书馆，按照 科技图书文献中心（NSTL）服务 重大科技专项的总体战略，组建了面向重大专项的学科情报服务团队，其中包括面向“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”专项（简称“02专项”）的服务团队。“02专项”服务团队嵌入专项科研一线，为项目承担的科研团队、管理者、决策者以及业内相关人员提供长期跟踪服务。全书共分为5章。第1章绪论部分对需求调研、专利分析方法、数据来源以及所用术语进行解释。第2章围绕集成电路设计、工艺制造、封装测试、材料、设备仪器对2015年集成电路产业公开专利进行分析。第3-5章进一步对工艺领域、存储领域及光刻领域关键技术进行专利分析。本书从嵌入 重大科技专项科研创新过程的学科情报服务实践出发，以专利数据的视角展示集成电路产业关键技术的研发概况，以期为广大从业人员或公众提供一份有效参考。